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MEMS数字量气体传感器
MEMS传感器所使用的分析测量芯片,是采用MEMS工艺技术制作而成的,其加工精度下至纳米尺度,上至毫米尺度,利用MEMS工艺技术制作的传感器芯片具有小尺寸、高可靠性、高稳定性、便于集成、可定制的特点。 芯片是传感器的核心,相当于人的大脑,MEMS工艺芯片,相比起传统芯片,在小尺寸、可靠性、稳定性方面的优势更为明显,能够让传感器发挥更加精良的样本采集和数据转化效果,带给用户更好的环境监测体验。
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